Ф15,Ф20，Ф1″，Ф2″等

厚度:

0.5mm，1.0mm

尺寸公差:

<±0.1mm

表面抛光:

单面或双面

取向：

＜100＞  ＜110＞  ＜111＞

晶面定向精度:

±0.5°

边缘定向精度:

2°（特殊要求可达1°以内）

斜切晶片：

可按特定需求，加工边缘取向的晶面按特定角度倾斜（倾斜角1°－45°）的晶片

Ra:

≤5Å（5µm×5µm）