尺寸:

10x3，10x5，10x10，15x15，，20x15，20x20，

Ф15,Ф20，Ф25 等

或按用户要求特殊加工

厚度:

0.5mm，1.0mm

尺寸公差:

<±0.1mm

厚度公差:

<±0.015mm(特殊要求可达到<±0.005mm)

表面抛光:

单面或双面

取向：

＜100＞  ＜110＞  ＜111＞ 等；

晶面定向精度:

±0.5°

边缘定向精度:

2°（特殊要求可达1°以内）

斜切晶片：

可按特定需求，加工边缘取向的晶面按特定角度倾斜（倾斜角1°－45°）的晶片

Ra

≤5Å（5µm×5µm）