尺寸:

10x3，10x5，10x10，15x15，，20x15，20x20，

Ф15,Ф25等

厚度:

0.5mm，1.0mm等

尺寸公差：

<±0.1mm

厚度公差：

<±0.015mm(特殊要求可达到<±0.005mm)

表面抛光:

单面或双面

晶面定向精度:

±0.5°

边缘定向精度:

2°（特殊要求可达1°以内）

取向:

＜100＞，＜110＞，＜111＞等

斜切晶片：

可按特定需求，加工边缘取向的晶面按特定角度倾斜（倾斜角1°～ 45°）的晶片

Ra:

≤5Å（5µm×5µm）