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硅晶圆及硅片
镀金硅片
现货规格 2英寸、4英寸 Au厚度100nm,其他厚度均可提供。
硅片+金属粘结层+金层;
镀金工艺
电子束蒸发、磁控溅射、电镀等。
镀铂硅片
现货规格2英寸、4英寸 Pt厚度150nm、300nm,其他规格按客户要求定制。
硅片+氧化膜+金属粘结层+铂层;
镀铂工艺
磁控溅射,Pt金具有<111>取向,成膜质量极佳。
镀铜硅片
现货6寸125nm、200nm、2um。其他厚度均可定制。
真空包装,防氧化。
镀其他金属膜
(银、钛、镍、钨等),厚度均按要求加工,质量高,膜厚均匀致密。
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