硅晶圆及硅片

硅晶圆及硅片


  • 镀金硅片


  • 现货规格 2英寸、4英寸 Au厚度100nm,其他厚度均可提供。


  • 硅片+金属粘结层+金层;


  • 镀金工艺


  • 电子束蒸发、磁控溅射、电镀等。


  • 镀铂硅片


  • 现货规格2英寸、4英寸 Pt厚度150nm、300nm,其他规格按客户要求定制。


  • 硅片+氧化膜+金属粘结层+铂层;


  • 镀铂工艺


  • 磁控溅射,Pt金具有<111>取向,成膜质量极佳。


  • 镀铜硅片


  • 现货6寸125nm、200nm、2um。其他厚度均可定制。


  • 真空包装,防氧化。


  • 镀其他金属膜

  • (银、钛、镍、钨等),厚度均按要求加工,质量高,膜厚均匀致密。