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紫外光刻胶(Photoresist)
紫外光刻胶(Photoresist)
紫外光刻胶(Photoresist)
产品介绍:

• 光刻胶性能优异,种类繁多,满足不同工艺的多样性要求 • 包装规格灵活多样 (30ml, 100ml, 250ml, 500ml, 1L, 2.5L 等 ),适合多种规模的科研 / 生产需求

• 交货周期短,订购流程简单快捷

• 可提供专业的技术咨询服务

• 可为用户研发定制特殊功能的光刻胶

产品详情

特点

• 用于掩膜板制作、精细结构加工、激光干涉曝光等 

• 感光波段:Broadband UV、i-line(365nm)、g-line(436nm)

• 可得到非常薄且均匀的膜

• 高灵敏度、高分辨率 

• 良好的粘附能力,可用于耐干法和湿法刻蚀工艺

• 用于耐刻蚀工艺、电镀、LIGA、MEMS 等 • 感光波段:Broadband UV、i-line(365nm)、g-line(436nm) 

• 涂胶厚度从几微米到上百微米,覆盖能力好,图形边缘陡直

• 3220 透明度高,100μm 胶厚 ( 多层涂胶工艺 ) 也可正常曝光 

• 具有良好的耐干法和湿法刻蚀能力 • 用于 IC 掩膜板加工等 

• 感光波段:Broadband UV、i-line(365nm)、g-line(436nm)

• 良好的耐刻蚀性能,粘附性强,工艺宽容度大

• 适合于工业通用的 0.26 n 的碱性显影工艺 

• 3500T 系列比原 3500 系列具备更高的分辨率和对比度

• 用于亚微米精细结构加工、掩膜板制作、激光干涉曝光等

• 感光波段:Broadband UV、i-line(365nm)、g-line(436nm)

• 高分辨率、高对比度、优异的结构稳定性,可用于亚微米精 细结构的加工

• 3840 经过染色处理,可消除部分驻波效应


 类型

                型号

特性


           正胶


                 AR-P 1200


适合喷涂(Spray Coating)的正性光刻胶,高灵敏度。胶层表面非常平整,且可很好的保护粗糙的衬底表面,可用于复杂工艺。


                 AR-P 3100


高灵敏度光刻胶.胶膜薄且均匀在玻璃和镀铬表面附着力好,可用于光学器件加工,掩膜制作等。另有,AR-P 3170 可以做出 100nm,甚至更小的线条(几十纳米)。


                AR-P 3200


黏度大,可得到厚胶膜,厚度可达几十微米,甚至上百微米。胶膜覆盖能力好,适合粗糙的 Wafer 表面涂胶,可很好的保护结构边缘。图形剖面边缘陡直。适合做LIGA或电镀工艺等。


              AR-P 3500
             AR-P 3500T


于集成电路制造中的掩膜加工。 高敏感、高分辨率且在金属和氧化物表面附着力好。其中,AR-P 3500T是针对 AR-P 3500 系列进行优化,而新研制的一种光刻胶;性能和AR-P 3500相似,同时还具备了良好的耐等离子刻蚀性能,以及大的工艺宽容度。


               AR-P 3740
               AR-P 3840


高分辨率光刻胶,制作亚微米结构,适于高集成电路制作。光刻胶表面平整均匀,高敏感度、高对比、工艺宽容度大。 AR-P 3840为染色的光刻胶,可以降低驻波和散射等的影响。


                   AR-P 5300


Lift-off工艺用胶,利用普通的光刻工艺便可很容易得进行剥离工艺。高敏感、高分辨率, 且与金属和氧化物表面附着良好。


 图像反转胶


                 AR-U 4000


图形反转胶,通过调整工艺参数可实现正胶或负胶性能。图形反转工艺后,光刻胶呈现负胶性能,可以得到非常明星的倒梯形结果,用于lift-off工艺。


负胶


               AR-N 2200


适合喷涂的负性光刻胶,高灵敏度。胶层表面非常平整,且可很好的保护粗糙的衬底表面,可用于复杂工艺。


               AR-N 4240


紫外、深紫外曝光,可做lift-off工艺。 i线、深紫外曝光。适合制作亚微米图形,专为满足先进集成电路制造中的关键工艺要求而设计。良好的耐等离子体刻蚀性能,在金属和氧化物表面的附着力好,并可用于lift-off工艺。


               AR-N 4340


化学放大胶,紫外曝光,可做lift-off工艺。 i线、g线曝光。化学放大胶,高灵敏度,高分辨率,高对比度,在金属和氧化物表面附着力好,可用于lift-off工艺。

 

                AR-N 4400


厚胶,化学放大胶,可以做lift-off工艺。 i线、g线、深紫外、X-ray、电子束等都可以实现曝光。涂胶厚度从几十微米到上百微米,覆盖能力好,可用于表面粗糙的wafer表面涂覆,且剖面陡直,高分辨率。化学放大胶,灵敏度也非常高。可用于LIGA、电镀等工艺。 采用碱性水溶液显影,除胶非常容易,可以替代传统的SU8胶。


      SX AR-N 4600-10/3
      SX AR-N 4650-10/4
      NEW!


紫外负胶(厚胶),适用于LIGAMEMS应用,涂胶厚度 10um@1000rpmSX AR-N 4600-10/3 : 结构稳定性好、重复性好,厚度可达几百微米,适用于永久保留胶体结构的应用,SX AR-N 4650-10/4 : 容易去胶,适合于电铸工艺。

 

配套试剂
Process chemicals

 

       类型

型号

特性


       显影液


AR 300-26, -35


紫外光刻胶用 显影液


AR 300-44,-46,-47, -475


紫外/电子束光刻胶用 显影液


AR 600-50,-51,-55,-56


PMMA胶用 显影液


          定影液


AR 600-60,-61


电子束光刻胶用 定影液


          除胶剂


AR 300-70, -72, -73,600-70


紫外/电子束光刻胶用 除胶剂


          稀释剂


AR 600-01…09


PMMA胶 稀释剂


AR 300-12


紫外/电子束光刻胶用 稀释剂


          增附剂


AR 300-80, HMDS


紫外/电子束光刻胶用 增附剂


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