溅射靶材是一种通过溅射法生成薄膜的材料,由金属及陶瓷加工制造而成。
我们通过将熔化技术,烧结技术,合成技术以及加工技术进行技术融合,可以对各种素材,纯度以及形状的产品进行处理。
| 金属相 | Co-Cr-Pt, Fe, Fe-Ni, Fe-Pt等各种纯金属・合金 |
|---|---|
| 非金属相 | Al2O3, MgO, SiO2等各种氧化物・氮化物 |
单位 [mm]圆球型 直径 φ50.8、φ76.2、φ101.6、φ127、φ152.4、φ203.2、 φ254、φ304.8、φ355.6、φ406.4、φ508、φ533.4 矩形 平面尺寸 127×304.8、127×381、127×508、127×558.8、152.4×508 厚度 t3、t5、t6.35