溅射靶材是一种通过溅射法生成薄膜的材料,由金属及陶瓷加工制造而成。
我们通过将熔化技术,烧结技术,合成技术以及加工技术进行技术融合,可以对各种素材,纯度以及形状的产品进行处理。
| 高纯度金属 | Al, Co, Cu, Fe, Mg, Mn, Sn |
|---|---|
| 高熔点金属合金 | Cr,Mo,Nb,Ta,Ti,V,W系列的合金 |
| 非磁性合金 | Al, Bi, Cu, Mg, Sn, Zn系列的合金/ Bi2Te3, Mg2Si |
| 磁性合金 | Co, Fe, Ni系列的合金/ Co-Fe-B, Co-Pt, Fe-Pt |
| 赫斯勒合金 | Co, Fe, Ni基赫斯勒合金 |
| Mn系列的合金 | Mn-Al, Mn-Bi, Mn-Ga, Mn-Ir, Mn-Si |
| 贵金属合金 | Au,Ag,Pt,Pd系列的合金 |
单位 [mm]
| 圆球型 | 直径 | φ50.8、φ76.2、φ101.6、φ127、φ152.4、φ203.2、 φ254、φ304.8、φ355.6、φ406.4、φ508、φ533.4 |
|---|---|---|
| 矩形 | 平面尺寸 | 127×304.8、127×381、127×508、127×558.8、152.4×508 |
| 厚度 | t3、t5、t6.35 | |