工艺介绍

MEMS代工-光刻掩膜板简称掩膜板，是微纳加工技术常用的光刻工艺所使用的图形母版。由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜图形信息转移到产品基片上。美明电子提供石英基片、苏大玻璃基片、石英板、菲林版等掩膜板。

技术应用

掩膜板应用十分广泛，在涉及光刻工艺的领域都需要使用掩膜板，如IC、FPD、PCB、MEMS等

工艺能力

2.5英寸-9英寸可定制

苏打版精度±3um

石英板精度±0.1um